Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Modell nr: Sulphur Hexafluoride CAS: 2551-62-4
Betalning Typ: L/C,T/T,Paypal
Svavelhexafluorid CAS: 2551-62-4 SF6 99.999% 5N hög renhet elektronisk specialgas
Produktanvändning
Svavelhexafluorid är en färglös, luktfri, icke -toxisk, icke -brandfarlig inert gas med en molekylvikt på 146,07, en smältpunkt på -51 ° C och en kokpunkt på -64 ° C. Den molekylära strukturen för svavelhexafluorid är ordnad i en oktaedron, bindningsavståndet är litet och bindningsenergin är hög, så dess stabilitet är hög. Elektronisk kvalitet med hög renhet svavelhexafluorid är en idealisk etist. Svavelhexafluorid kan användas för att etsa ytan på kisel och ta bort organiska eller oorganiska membran på halvledarmaterial och kan användas vid tillverkning av optiska fibrer.
Kvalitetsspecifikation
Items |
Units |
Index |
(SF6)Sulfur hexafluoride |
Vol./% |
≥99.999% |
Oxygen+Argon(O2+Ar)≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
Nitrogen(N2)≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
Carbon tetrafluoride(CF4)≤ |
Vol.ppm |
≤1 |
Carbon monoxide(CO)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Carbon dioxide(CO2)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Methane(CH4)≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
Moisture(H2O)≤ |
Vol.ppm |
≤3 |
Acidity(以HF计)≤ |
μg |
≤0.1 |
Hydrolytic fluoride(以HF计)≤ |
μg |
≤0.8 |
Total impurity content≤ |
μg |
≤10 |
Particle |
μg |
Supply and demand agreement |
Ansökan
Elektronisk högrent svavelhexafluorid är ett idealiskt elektroniskt etsningsmedel, som används i stor utsträckning inom mikroelektroniktekniken, den används som ett plasma -etsning och rengöringsmedel vid tillverkningen av stora integrerade kretsar som datorchips och LCD. Svavelhexafluorid används som en fluorkälla för att producera fluordopat glas i framställningen av optisk fiber. Dessutom kan svavelhexafluorid också användas som isolerande gas, spårmedel och köldmedium.
Förpackning 、 Lagring
Svavelhexafluorid lagras i vanliga sömlösa cylindrar, vanligtvis är cylindervolym 40L, typen av cylinder är CGA590 QF-2, och cylindertrycket är 8,0MPa och 12,5MPa. Specifika förpackningsspecifikationer kan anpassas enligt användarkraven. Svavelhexafluorid lagras i en skuggig och ventilerad förråd bort från eld och värmekälla, förrådstemperaturen överstiger inte 30 ℃. Det bör lagras separat med inflammbar (brännbart) och oxidationsmedel. Lagringsområdet ska vara utrustat med nödutrustning för nödsituationer.
Produktkategorier : Halvledarelektroniska kemiska material > Fluorinnehållande elektronisk gas med hög renhet
Mobile Site
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.