Boron11 Trichloride Semiconductor Dopant Semiconductor Dry Etsing
Produkt introduktion
Vid normal temperatur och tryck är borriklorid (BCL 3 ) färglös rökgas, som är brandfarlig, skarp, sur lukt. Bor triklorid sönderdelas till saltsyra och borsyra och frisätter mycket värmemöten med vatten, det genererar rök i våt luft på grund av hydrolys, och BCL 3 sönderdelas till saltsyra och borsyra -ester i alkohol. Bor triklorid har en stark reaktionsförmåga och kan bilda olika koordinationsföreningar. Bor triklorid kan reagera med glas och keramik när den upphettas, och den reagerar också med många organiska föreningar för att bilda en mängd organoboronföreningar. Boron11 triklorid med hög renhet används huvudsakligen för diffusionsdoping i tillverkningsprocessen av (kisel) halvledaranordningar. Borföroreningar genereras genom nedbrytning av BCL 3 och diffus mot kisel för att bilda halvledar av P-typ vid hög temperatur. BCL 3 kan också användas för torr etsning av AL, MOSI 2 , TASI 2 , TISI 2 , WSI och andra material.
Kvalitetsspecifikation
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Ansökan
Bor triklorid kan användas för att tillverka hög ren bor, katalysator för organisk syntes, flödesmedel för silikatnedbrytning, och det användes också som tillsats av deoxidizer, nitrider och karbider i legering. Hög ren boron11 triklorid används huvudsakligen vid diffusionsdoping, jonimplantation, torr etsning och andra processer i halvledarenheter och integrerad kretstillverkning.
Förpackning och lagring
Boron11 triklorid fylls i cylindern. Cylindern fylld med Boron11 -triklorid överensstämmer med de relevanta bestämmelserna i GB14193. Förpackningsspecifikationerna inkluderar 10L och 47L. Produkten lagras i en skuggig, torr och ventilerad förråd under 60 ℃ . Det är förbjudet att exponera för solen och hålla sig borta från värmekällor. Paketet måste förseglas och det ska lagras separat med alkali och andra farliga artiklar.
Contact Now
